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本说明书涉及一种气体冷却单元，包括：腔室；腔室中的至少一个开口，通向腔室内部的处理空间；至少一个门，其用于关闭开口；以及位于腔室内部的系统(4)，其包括至少一个壁(42)，该至少一个壁在第一位置与第二位置之间是可移动的，在该第一位置，该壁在...
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