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物镜的光瞳像差的补偿制造技术
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文档序号:33722117
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本发明涉及物镜的光瞳像差的补偿。一种包括物镜(20)的物镜系统,物镜(20)包括一组光学元件,光学元件的光学特性引起物镜的光学像差,光学像差至少包括引起光束的边缘光线相对于光束的主光线的像差的图像像差和引起第一交点相对于第二交点沿物镜(20...
该专利属于赫克斯冈技术中心所有,仅供学习研究参考,未经过赫克斯冈技术中心授权不得商用。
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