下载一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法的技术资料

文档序号:33716469

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本发明公开了一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法,包括步骤:一、在双层复合石英坩埚上布设光栅检测点;二、采集光栅检测点移动时的视频图像;三、对信息待提取视频的有效视频段进行选择;四、选择有效视频段中内条纹光栅贴片和外条纹光栅贴片各自图像...
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