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本发明涉及高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，实现方法如下：记录多个光线发射器件发出光线在标准平面上形成的标准线段状投影位置以及多标准线段状投影的标准交点位置；保持检测镜头在距离测试平面一定高度位置，记录两个光线发射器件发出光线在检...
该专利属于深圳市兴华炜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市兴华炜科技有限公司授权不得商用。

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