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基于工艺流程的异常数据检测方法及装置制造方法及图纸
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下载基于工艺流程的异常数据检测方法及装置的技术资料
文档序号:33712427
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本发明提供了一种基于工艺流程的异常数据检测方法及装置,本方法设置工艺录入接口,通过工艺录入接口录入工控设备的工艺流程,依据工艺流程将工控设备归纳为多个流程链,并在每个流程链末端设置工艺探针;每个工控设备输出一组流程数据,工艺探针记录该流程链...
该专利属于北京珞安科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京珞安科技有限责任公司授权不得商用。
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