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本发明公开一种氧化镓薄膜氢气传感器制备方法及氧化镓薄膜氢气传感器，该方法包括：对FTO玻璃基底的导电面进行清洗和干燥处理，在干燥后的FTO玻璃基底的导电面贴上绝缘胶带，以绝缘胶带覆盖区域作为电极；对FTO玻璃基底进行臭氧清洗；将臭氧清洗后的...该专利属于国网电力科学研究院有限公司国网浙江省电力有限公司电力科学研究院国网浙江省电力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国网电力科学研究院有限公司国网浙江省电力有限公司电力科学研究院国网浙江省电力有限公司授权不得商用。