专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
上海交通大学
>
集成有底部反射层的、垂直耦合的二元闪耀亚波长光栅耦合器及制备方法技术
>技术资料下载
下载集成有底部反射层的、垂直耦合的二元闪耀亚波长光栅耦合器及制备方法的技术资料
文档序号:33706053
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种集成有底部反射层的、垂直耦合的二元闪耀亚波长光栅耦合器,自上而下的薄膜功能层、键合层、底部反射层和衬底层。功能层为脊型结构,包括输入/出光栅耦合器、光子波导器件区域。输入/出光栅耦合器呈对称分布内设置有周期性排布的二元闪耀亚...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。