下载集成有底部反射层的、垂直耦合的二元闪耀亚波长光栅耦合器及制备方法的技术资料

文档序号:33706053

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本发明公开了一种集成有底部反射层的、垂直耦合的二元闪耀亚波长光栅耦合器,自上而下的薄膜功能层、键合层、底部反射层和衬底层。功能层为脊型结构,包括输入/出光栅耦合器、光子波导器件区域。输入/出光栅耦合器呈对称分布内设置有周期性排布的二元闪耀亚...
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