下载一种光电集成器件及制备方法的技术资料

文档序号:33704564

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本发明公开了一种光电集成器件及其制作方法,包括:多个有序排列的基本单元,所述基本单元包括多量子阱MicroLED和垂直结构GaN MOSFET;所述蓝宝石衬底的顶层设有键合介质层,所述蓝宝石衬底的底层为器件的出光面;所述多量子阱Micro ...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。

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