下载基于MEMS的气流系统的技术资料

文档序号:33702918

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公开了一种包括孔板、风扇元件和至少一个通道的系统。孔板在其中具有至少一个孔口。风扇元件构造成经历振动运动以驱动流体通过(多个)孔口。响应于流体被驱动通过所述至少一个孔口,流体被抽吸通过(多个)通道。流体被抽吸通过(多个)通道。流体被抽吸通过...
该专利属于福珞尔系统公司所有,仅供学习研究参考,未经过福珞尔系统公司授权不得商用。

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