下载接合散热器与半导体元件的方法及其散热器结构的技术资料

文档序号:33701133

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本公开涉及一种接合散热器与半导体元件的方法及其散热器结构,该方法包括:将散热器主体接近半导体晶片,使得散热器主体接合面上的热传凸块中的第一类热传凸块接触设置于半导体晶片上的热传垫;进行超音波震动,使得第一类热传凸块与热传垫产生键合;施加压力...
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