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本实用新型涉及半导体加工领域，且公开了一种晶圆转移限位机构，该限位机构可以在机械手放置晶圆时对晶圆起到限位作用，保证放置的准确性。包括工作台和支腿，所述的工作台在晶圆移动方向的末端的端面上和晶圆放置位置的外侧端面上分别固定设有限位组件，所述...
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