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细小柱状晶硅靶材基体的铸锭制备方法及其制备设备，所述铸锭设备为多晶铸锭炉，包括上炉体、下炉体、隔热笼、石英陶瓷坩埚、顶加热器件、四周侧加热器件、石墨热交换台，在石英陶瓷坩埚外壁石墨软毡外周设置有碳/碳复合保温方框，在上炉体内壁上安装有非接触...
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