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本发明提出了一种U型金属丝谐振式MEMS粘度传感器，包括U型金属丝谐振敏感元件、频率信号发生器模块、阻抗测量模块以及微控制器模块，U型金属丝作为传感器的敏感元件，置于平行放置的两块圆形强力永久磁铁之间的磁场中，与该两块强力永久磁铁以及支撑构...
该专利属于哈尔滨工业大学（威海）所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学（威海）授权不得商用。

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