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本发明公开了一种激光阵列刻蚀WS2晶体的快速响应光导型探测器和制备方法。利用聚焦激光束实现微米级阵列刻蚀，引入水氧吸附，显著减弱了WS2光导型探测器的持续光电导效应引起的电流不稳定，将探测器响应时间由秒级提升到毫秒级。所述的探测器制备方法的...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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