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一种用于晶圆传输系统的翻转装置及其组装装置和方法制造方法及图纸
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下载一种用于晶圆传输系统的翻转装置及其组装装置和方法的技术资料
文档序号:33633113
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本发明公开了一种用于晶圆传输系统的翻转装置的组装方法,包括如下步骤:S01:将固定块通过第一定位单元固定在承载基座中,所述固定块内部包括中空腔室;S02:将电机输出轴伸入所述中空腔室,确保电机输出轴在旋转过程与所述固定块的内壁不接触;S03...
该专利属于上海广川科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。
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