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本申请提供了一种太阳能电池制作方法进太阳能电池，包括：在硅衬底的正面制作硼扩散层，采用等离子增强原子层沉积工艺在所述硼扩散层上制作正面氧化铝层，所述等离子增强原子层沉积工艺的循环次数为n，所述n小于或者等于80，所述制作正面氧化铝层包括：在...
该专利属于浙江晶科能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶科能源有限公司授权不得商用。

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