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本发明公开了一种CVD石墨烯生长过程中的同步掺杂方法,通过在铜箔表面进行掺杂元素沉积,在铜箔表面形成掺杂元素薄膜,经过高温退火后获得质地均匀的铜合金箔作为基板;使用常压化学气相沉积方法,将基板放入常压CVD生长炉中,随后通入保护气体,使常压...该专利属于化学与精细化工广东省实验室潮州分中心所有,仅供学习研究参考,未经过化学与精细化工广东省实验室潮州分中心授权不得商用。
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本发明公开了一种CVD石墨烯生长过程中的同步掺杂方法,通过在铜箔表面进行掺杂元素沉积,在铜箔表面形成掺杂元素薄膜,经过高温退火后获得质地均匀的铜合金箔作为基板;使用常压化学气相沉积方法,将基板放入常压CVD生长炉中,随后通入保护气体,使常压...