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一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构和显微镜制造技术
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下载一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构和显微镜的技术资料
文档序号:33632132
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本发明公开了一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构,包括压电扫描管和镜体框架,所述压电扫描管设置在镜体框架内,所述压电扫描管上部分为自由端且通过固定环安装于镜体框架,下部分为自由端且其内壁上通过绝缘环连接滑杆,绝缘环的内环壁安装有弹簧片,弹簧...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。
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