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本发明提供一种高效离化的离子注入方法，属于离子注入技术领域，本发明中电子发生装置产生的电子与通入气体碰撞，产生气体离子轰击曲面靶材产生金属靶材原子和离子，带正电的金属离子在电磁场的作用下导向离子引出组件形成离子束进入到质量分析装置，再通过质...
该专利属于温州瑞明工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过温州瑞明工业股份有限公司授权不得商用。

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