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一种铌掺杂二维硫化钨晶体材料的制备方法技术
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文档序号:33629252
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本发明公开了一种铌掺杂二维硫化钨晶体材料的制备方法,采用化学气相沉积法,以Si/SiO2为衬底,金属钨箔为钨源,金属铌箔为铌源,生长衬底倒扣在金属钨箔上,金属铌箔面积小于金属钨箔面积,生长衬底一端直接与金属钨箔接触,另一端在铌源的正上方,与...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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