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一种用于在工件(75)中选择性激光诱导蚀刻出微孔(81)的方法，其包括以下步骤：在所述工件(75)中产生(步骤71)从所述工件的射入侧(61A)延伸到所述工件的出射侧(61B)的修改(91)，所述修改(91)借助激光脉冲产生，所述激光脉冲具...该专利属于通快激光与系统工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通快激光与系统工程有限公司授权不得商用。
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