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一种切割由脆性材料制成的工件的方法技术
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文档序号:33620264
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用于切割脆性材料的设备包括扩束器(18),与非球面聚焦透镜(22)、孔径(CA)和产生脉冲激光辐射束(14)的激光源(12)相结合。非球面透镜(22)和孔径(CA)将脉冲激光辐射束形成为沿着非球面聚焦透镜(22)的光轴具有均匀强度分布的细长...
该专利属于相干公司所有,仅供学习研究参考,未经过相干公司授权不得商用。
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