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成像分析装置以及成像数据解析方法制造方法及图纸
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文档序号:33617231
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本发明的成像分析装置的一方案具备:分析执行部(1),分别对在试样上的测量区域内设定的多个测量点执行基于规定的分析方法的分析来收集成像数据;参照图像获取部(2),获取针对所述测量区域的参照图像;回归分析执行部(36),针对对相同试样得到的所述...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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