下载具有超低磨擦铁磁流体轴承的机械平移器的技术资料

文档序号:3361312

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一种机械平移器包括至少一个磁体,它被设置在基板上以承载负载并具有通常横向于基板的磁轴,建立磁场,其中在邻近基板处具有最大外部密度。用铁磁流体轴承获得一种超低摩擦界面,其诸如与异链烷酸混合的轻矿物油介质,它建立小于1度且优选小于10分的与水平...
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