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文档序号:3360404

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本发明提供一种使移动体在棋盘格状地设有凸极的平台上进行移动的平面平台装置,其作成在移动体旋转的状态下可朝XY方向直线移动。其中,Y方向移动用移动子(20c、20d)是设于移动体(30)的X轴上两部位,且经由旋转轴承(24)安装于移动体(30...
该专利属于优志旺电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

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