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本发明公开了一种精密线性位移装置,包括:壳体、运动载座、电磁驱动单元、永磁单元和弹性支撑座,永磁单元设置在壳体内,运动载座通过弹性支撑座安装在所述壳体内,电磁驱动单元固定在运动载座上,当向电磁驱动单元通电时,永磁单元向所述电磁驱动单元施加与...该专利属于宜兴市贵鑫磁电高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜兴市贵鑫磁电高科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种精密线性位移装置,包括:壳体、运动载座、电磁驱动单元、永磁单元和弹性支撑座,永磁单元设置在壳体内,运动载座通过弹性支撑座安装在所述壳体内,电磁驱动单元固定在运动载座上,当向电磁驱动单元通电时,永磁单元向所述电磁驱动单元施加与...