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楚雄隆基硅材料有限公司
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一种硅片花篮的定位装置及插片机制造方法及图纸
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下载一种硅片花篮的定位装置及插片机的技术资料
文档序号:33574085
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本申请公开了一种硅片花篮的定位装置以及插片机,涉及硅片加工技术领域。硅片花篮的定位装置包括:基座、微调结构和夹持机构;基座具有承载硅片花篮的底架,以及与底架相连的安装板;夹持机构分别可活动连接于底架和安装板,夹持机构、底架和安装板形成容纳硅...
该专利属于楚雄隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过楚雄隆基硅材料有限公司授权不得商用。
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