下载一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置的技术资料

文档序号:33564530

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本实用新型公开了一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置,属于尾气回收装置技术领域,定位套底部等间距安装有连接杆,尾气回收罐安装在定位套中间处,注气口安装在尾气回收罐顶中部处,出气口安装在尾气回收罐底中部处,尾气回收罐内设有回收罩组件,尾...
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