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一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器制造技术
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下载一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器的技术资料
文档序号:33554548
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本发明涉及高频脉冲电子设备技术领域,尤其为一种带脉冲电源高压线电磁屏蔽层的倍频晶体激光器,可以得到窄带222纳米紫外线(用于人机共存(消毒)或者得到13.5纳米的极紫外光等等(EUV光刻光源),包括金属罩、高压包、电源线和激光器,所述金属罩...
该专利属于北京春秋煜盛科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京春秋煜盛科技有限公司授权不得商用。
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