下载一种基于绝缘层上硅衬底的二维材料/硅异质结阵列及其制备方法的技术资料

文档序号:33552023

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本发明公开了一种基于绝缘层上硅衬底的二维材料/硅异质结阵列及其制备方法,包括组成阵列的若干异质结单元。异质结单元为二维材料/硅的垂直异质结,阵列是异质结单元的面阵阵列。制备方法为在绝缘层上硅衬底上通过刻蚀顶硅的方式形成图形化的顶硅条带,再依...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

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