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本发明涉及真空获得设备技术领域,具体涉及一种动平衡调试泵壳及具有其的调试装置与方法。一种动平衡调试泵壳,具有侧壁,所述侧壁的一端具有用于与待测分子泵的泵体密封连接的开口端,所述侧壁的另一端具有端盖;所述侧壁上与所述待测分子泵的涡轮上的平衡钉...该专利属于苏州中科科仪技术发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州中科科仪技术发展有限公司授权不得商用。
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