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本发明涉及一种基于外延沟道的MOSFET器件及其制备方法,方法包括:选取N型衬底层;在N型衬底层上形成N型外延层;在N型外延层的两端的内表面形成P阱注入区;在P阱注入区的内表面形成N+注入区和P+注入区,两个N+注入区位于两个P+注入区之间...该专利属于瑶芯微电子科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑶芯微电子科技(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种基于外延沟道的MOSFET器件及其制备方法,方法包括:选取N型衬底层;在N型衬底层上形成N型外延层;在N型外延层的两端的内表面形成P阱注入区;在P阱注入区的内表面形成N+注入区和P+注入区,两个N+注入区位于两个P+注入区之间...