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厚度测定装置制造方法及图纸
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下载厚度测定装置的技术资料
文档序号:33542511
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实施方式的厚度测定装置具备:放射线源,向测定对象物放射放射线;检测部,检测放射线;测定部,对测定对象物的厚度进行测定;自诊断部,执行多种自中诊断的至少任一种;存储部,存储包含测定部的测定结果以及自诊断部的自诊断结果的测定关系信息,并且存储将...
该专利属于东芝基础设施系统株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝基础设施系统株式会社授权不得商用。
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