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高速光波导开关芯片封装模块制造技术
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文档序号:33541596
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本发明公开一种高速光波导开关芯片封装模块,属于光学封装和射频连接集成模块领域,包括底座;光波导芯片包括入光口波导、两根出光口波导、两条接地电极镀层、射频电极镀层;金属化光纤,第一端通过底座的第一端穿入到容纳腔内与入光口波导耦合;带双头连接器...
该专利属于上海三菲半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海三菲半导体有限公司授权不得商用。
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