下载用于光学束路径的快门装置的技术资料

文档序号:33540271

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本发明涉及用于光学束路径(9)的快门装置(1),包括快门元件(2),用于关闭光学束路径(9);驱动器(8),用于在两个终端位置(E1、E2)之间沿着位移路径(6)以控制的方式移动所述快门元件(2);至少一个止动块(4),在各个情况下都具有一...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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