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基于超晶格的PIN二极管及其制备方法技术
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下载基于超晶格的PIN二极管及其制备方法的技术资料
文档序号:33534166
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本发明公开了一种基于超晶格的PIN二极管,主要解决现有GaN PIN二极管难以形成高有效掺杂P区及低载流子浓度本征区导致性能低的问题。其自下而上包括衬底(1)、N
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该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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