温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种基于自动配重的多晶圆旋转干燥系统，该系统包括结构上包括有干燥箱、晶舟、晶圆底座、主传动轴、电机和系统框架，所述干燥箱的底部设置有配重区域，所述主传动轴上主轴固定支架的上部设有一个配重区支撑法兰，所述配重区域内设有配重块驱动电机...
该专利属于合肥至汇半导体应用技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥至汇半导体应用技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。