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本发明公开了一种晶圆清洗方法及晶圆清洗装置，所述清洗方法包括：将晶圆放置于晶圆清洗装置中，支撑组件朝向晶圆移动，所述支撑组件配置的主动辊及从动辊抵接于晶圆的外沿以水平夹持晶圆；控制部驱动所述主动辊转动，所述支撑组件夹持的晶圆绕轴线旋转；转速...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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