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本发明公开了一种具有排气口监测功能的罗茨真空泵，涉及罗茨真空泵排气技术领域，包括底座、设于底座顶部的泵体、设于泵体顶部的进气管和设于泵体底部的排气管，排气管的外端安装有连通管，连通管的外端设有消音管，过滤腔内部灌注有净化液；过滤腔内部设有导...
该专利属于中科仪（南通）半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科仪（南通）半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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