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本发明公开了一种应用于晶圆测试的无接触高度感应系统，包括计算机、信号转换器、传感器、测试仪表和探针台，计算机包括控制软件和服务器，计算机分别与信号转换器、测试仪表和探针台通信，测试仪表电性连接有若干测试探针，探针台包括载物台，载物台用于固定...
该专利属于苏州伊欧陆系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州伊欧陆系统集成有限公司授权不得商用。

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