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基于柔性触觉电容的三维压力传感器制造技术
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下载基于柔性触觉电容的三维压力传感器的技术资料
文档序号:33529534
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本发明提供了一种基于柔性触觉电容的三维压力传感器,其球形接触端头位于柔性上部基底的上方,所述电容上部电极层、极间介质层、电容下部电极层、柔性下部基底层从上到下依次位于三维压力传感器柔性上部基底的下方,所述电容上部电极层位于三维压力传感器柔性...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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