下载一种功率器件的体内单区终端结构及制备方法的技术资料

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本发明涉及一种功率器件的体内单区终端结构及制备方法,该功率器件的体内单区终端结构,包括外延区和单区终端结构,其中,所述外延区的一部分位于有源区中,另一部分位于与所述有源区相邻的终端区中;所述单区终端结构埋设于所述外延区中且位于所述终端区中,...
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