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本发明涉及一种基于体内多区终端结构的功率器件及制备方法，功率器件包括：第一电极、衬底区、外延区、若干终端结构、氧化层和第二电极，其中，第一电极、衬底区和外延区依次层叠；若干终端结构间隔埋设于外延区中且位于终端区中，靠近有源区一侧的终端结构与...
该专利属于陕西半导体先导技术中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西半导体先导技术中心有限公司授权不得商用。

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