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本发明涉及一种功率器件的体内复合终端结构及制备方法，该复合终端结构包括：第一电极、衬底区、外延区、复合终端结构、氧化层和第二电极，第一电极、衬底区和外延区依次层叠；复合终端结构埋设于外延区中且位于终端区中；复合终端结构包括第一子终端和若干第...
该专利属于陕西半导体先导技术中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西半导体先导技术中心有限公司授权不得商用。

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