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一种处理系统(100)具有用于对至少一个基板进行动态或静态处理的处理室(101)。一种电感耦接等离子体源ICP源(120、120')包括：至少一个电感器(130a、130b)，所述至少一个电感器(130a、130b)沿所述ICP源(120、...
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