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本实用新型涉及碳化硅技术领域，具体为一种碳化硅夹持装置，包括：机体，所述机体的底端安装有夹持座，所述夹持座的上方安装有伸缩簧，所述伸缩簧的顶端安装有转动机构，所述转动机构的顶端安装有活动机构，所述机体的顶端外表面设置有控制器，调节机构，所述...
该专利属于西安晟光硅研半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安晟光硅研半导体科技有限公司授权不得商用。

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