下载涂敷装置以及涂敷方法的技术资料

文档序号:33512201

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实施方式所涉及的涂敷装置具备液喷嘴部、空气喷嘴部以及喷射控制部。液喷嘴部向安装于基板的电子部件喷射涂敷液。空气喷嘴部相对于液喷嘴部呈同心圆状配置,朝向基板喷射空气。喷射控制部在与基于液喷嘴部的所述敷液的喷射定时同步的定时从空气喷嘴部喷射空气...
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