下载半导体结构的形成方法的技术资料

文档序号:33507364

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底,所述基底上具有若干伪栅极结构;在所述基底上形成初始介质层,所述初始介质层位于所述伪栅极结构侧壁表面;刻蚀所述初始介质层,形成介质层,且所述介质层顶部表面低于所述伪栅极结构顶部表面;去除所述伪栅极结构...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。