下载一种双工位电导率测试仪的技术资料

文档序号:33506066

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本实用新型公开了一种双工位电导率测试仪,属于半导体材料性能参数测试技术领域,包括底板、设于底板上的工作台和龙门框架,工作台下方设有电机,龙门框架上设有移动滑轨和升降气缸,升降气缸上设有第一电磁测试探头、激光位移传感器和第二电磁测试探头,在工...
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