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本发明提供了一种应用于镀膜设备的机械手，所述机械手包括：端部执行器和晶圆传送器；所述端部执行器包括执行器基板、加热部；所述执行器基板上设有加热部，所述加热部用于对晶圆进行加热；所述晶圆传送器用于将通过所述端部执行器预热后的晶圆传送至晶圆处理...
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